特許
J-GLOBAL ID:200903028572400333
接触式変位検出装置及び接触式変位検出装置における許容範囲指定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大槻 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-077935
公開番号(公開出願番号):特開2007-255952
出願日: 2006年03月22日
公開日(公表日): 2007年10月04日
要約:
【課題】 測定精度を低下させることなく、許容範囲の上限値及び下限値を指定する際の作業工数を減少させることができる接触式変位検出装置を提供する。【解決手段】 ユーザ操作に基づいて許容範囲の上限値及び下限値が指定され、検査対象物Aに接触させた可動部21の変位量についての測定値と上限値及び下限値との比較結果を出力する接触式変位検出装置であって、可動部21を挿抜可能に保持するホルダー25と、ホルダー25に対する可動部21の変位量を検出し、測定値を求める変位量検出部61と、マスターワークA2を検査対象物として用いて取得された基準値を記憶する基準値記憶部65と、ユーザ操作に基づいて1つの許容誤差を指定する許容誤差指定部66と、基準値及び許容誤差に基づいて、上限値及び下限値を算出する許容範囲決定部67と、上記比較結果の出力部70a〜70cにより構成される。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
ユーザ操作に基づいて許容範囲の上限値及び下限値が指定され、検査対象物に接触させた可動部の変位量についての測定値と上記上限値及び下限値との比較結果を出力する接触式変位検出装置において、
上記可動部を挿抜可能に保持するホルダーと、
上記ホルダーに対する上記可動部の変位量を検出し、上記測定値を求める変位量検出手段と、
マスターワークを上記検査対象物として用いて基準値を取得する基準値取得手段と、
ユーザ操作に基づいて1つの許容誤差を指定する許容誤差指定手段と、
上記基準値及び上記許容誤差に基づいて、上記上限値及び下限値を算出する許容範囲決定手段と、
上記測定値が上記上限値を上回っているか否かに応じて信号レベルの異なる信号を上記比較結果として出力する第1検出信号出力手段と、
上記測定値が上記許容範囲内にあるか否かに応じて信号レベルの異なる信号を上記比較結果として出力する第2検出信号出力手段と、
上記測定値が上記下限値を下回っているか否かに応じて信号レベルの異なる信号を上記比較結果として出力する第3検出信号出力手段とを備えたことを特徴とする接触式変位検出装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (6件):
2F062AA01
, 2F062DD26
, 2F062EE01
, 2F062EE62
, 2F062JJ04
, 2F062LL07
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
接触式変位センサー
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-177202
出願人:株式会社キーエンス
審査官引用 (5件)
-
接触式変位計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-078594
出願人:株式会社キーエンス
-
特開平3-167401
-
胴径測定判別装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-223438
出願人:東芝エンジニアリング株式会社
-
無線機器特定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-063341
出願人:ソニー・テクトロニクス株式会社
-
パターン検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-042116
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立ハイテクノロジーズ
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