特許

J-GLOBAL ID：200903028593876494

走査型電子顕微鏡

発明者： 大嶋 卓 ,  ▲高▼藤 敦子 ,  平沼 雅幸 ,  神田 公生 ,  大高 正 ,  飯泉 孝
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-346451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173528
出願日： 1998年12月07日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】精度劣化、分解能低下の原因となる帯電現象を感知して知らせる機能を有し、帯電対策を簡便化し、帯電し易い試料に対しても短時間で熟練を要さずに、高精度、高分解能の測定を可能とする。【解決手段】試料の観察領域の表面電位観測手段もしくはそれによる画像の変化のモニタ手段により帯電現象を感知し、その結果の表示手段を有し、前記表面電位の観測結果、画像のモニタ結果またはそれら結果の分類項目をもとに、帯電対策を行う手段を起動する。

請求項（抜粋）：

試料表面の帯電現象を感知する手段と、さらにその結果の表示手段を観察画像上もしくはその近傍に有することを特徴とする走査型電子顕微鏡

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/244

FI (2件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/244

Fターム (5件)：

5C033NN01 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06 ,  5C033UU08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• イオン打込装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-110214   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開昭62-069527
  
• 特開平4-337235
  
• 走査型電子顕微鏡およびその観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335986   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社, 株式会社日立サイエンスシステムズ