特許

J-GLOBAL ID：200903028637001016

表面欠陥検査装置

発明者： 大山 洋一郎
出願人/特許権者： 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-220970
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017685
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】 検査対象表面にある緩やかな凹凸があった場合や欠陥とは言えない浅い傷や加工プロセス途上の表面荒さや、洗浄液残り等があった場合、照明によってはこれらの陰影が現われ、重欠陥であるクラック状欠陥と区別できないという問題がある。本発明は、検査対象表面にある緩やかな凹凸があった場合や、プロセス途上で生じた軽微なスクラッチやチッピングや面荒れ又はピット等微細な欠陥とは言えない浅い傷が陰影として現われず、本来の重欠陥であるクラック状欠陥だけが陰影として現われる照明手段を備える表面欠陥装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置は、検査対象物表面への入射角度が広角かつ均一な拡散光照明手段で照明し、テレセントリック光学系の撮像手段により撮像することにより、緩やかや凹凸や欠陥とは言えない微小な傷が陰影となって現われてないために、欠陥と誤認することがなく、欠陥検査の信頼性を高める効果を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

移動する検査対象物の鏡面状表面を拡散光によって照明する拡散光照明手段と、検査対象物の鏡面状表面の画像を撮像するテレセントリック光学系とリニアセンサアレイで構成された複数の撮像手段と、このリニアセンサアレイから出力される信号の明暗度から鏡面状検査対象物表面の微少凹凸欠陥を検出する画像処理手段とを備える表面欠陥検出装置であって、前記拡散光照明手段は検査対象物への入射角度が広角でかつ光量が均一であることを特徴とする表面欠陥検出装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (14件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-374982   出願人：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社
• 表面検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-111170   出願人：松下電器産業株式会社
• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-076310   出願人：株式会社ニュークリエイション
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-159393   出願人：株式会社ニコン