特許
J-GLOBAL ID：200903028658999645
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333223
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141405
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 パーティクルの付着を防止し、しかも基板が傷ついてしまうことを未然に防止するとともに、基板を水平状態で置く位置を正確に設定する。【解決手段】 ハンド本体1の所定位置にU字状の平板部材2の基部を固定し、この平板部材2の2つの先端部に固定係合部材3を、基部に可動係合部材4を設け、可動係合部材4を挟んで対称位置に傾斜面部材5および補助係合部材6をこの順に設けている。
請求項（抜粋）：
基板(7)の周縁部を複数箇所で把持し、この状態で基板(7)を搬送する装置であって、所定形状の平板部材(2)と、平板部材(2)の所定位置に設けられ、基板(7)の周縁部と係合可能なV字状の溝(3a)を有する少なくとも1つの固定係合部材(3)と、平板部材(2)の他の所定位置に設けられ、基板(7)の周縁部と係合可能なV字状の溝(4a)を有し、把持された基板(7)の略中心に向かって往復動作可能に構成された少なくとも1つの可動係合部材(4)と、平板部材(2)の他の所定位置に設けられ、可動係合部材(4)による係合位置に近接する所定位置と係合すべく把持された基板(7)の略中心に向かって往復動作可能に構成され、かつ基板(7)の周縁部とほぼ直交する係合面(6a)を有する補助係合部材(6)と、可動係合部材(4)および補助係合部材(6)を互いに独立して動作させる駆動部と、を含むことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 S
, H01L 21/68 A
, B25J 15/08 K
, B65G 49/07 E
3C007DS01
, 3C007DS06
, 3C007ES04
, 3C007ET08
, 3C007EV03
, 3C007EV07
, 3C007EV23
, 3C007EW03
, 3C007NS09
, 3C007NS11
, 3C007NS17
, 3F061AA01
, 3F061AA04
, 3F061BA04
, 3F061BB08
, 3F061BE03
, 3F061BE12
, 3F061BE43
, 3F061BF04
, 3F061DB00
, 3F061DB04
, 3F061DB06
, 5F031CA02
, 5F031GA03
, 5F031GA13
, 5F031GA14
, 5F031GA15
, 5F031PA23
