特許
J-GLOBAL ID：200903037798052230
基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010337
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209243
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 基板の姿勢を変更することが可能で、かつ製造コストが少なくて済み、パーティクルの発生を抑えることができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 一方のカセットの基板Wを基板載置部410aに搬送する場合には、ハンド260は基板Wを水平姿勢(XY面内方向)で取り出した後、ハンド回動部の回動A3により基板Wを把持した状態で90 ゚の正回動を行い基板Wを第1の鉛直姿勢(Z方向)にする。次に開閉チャック264bを開き、基板載置部410aの溝に基板Wを位置させてハンド260がさらに降下した後、わずかにY軸の負方向に移動し、基板Wの間から支持板265a〜265eを抜取る。逆に、他方のカセットの基板Wを基板載置部410bに搬送する場合には、基板Wを把持したハンドが90 ゚の逆回動を行って基板Wを第2の鉛直姿勢にし、開閉チャック264aを開き、基板載置部410aの溝に基板Wを位置させて降下した後、支持板265a〜265eを抜取る。
請求項（抜粋）：
第1ポジションに配置された基板を搬送して第2ポジションに配置する基板搬送装置であって、支持板と、前記支持板に設けられ、基板を支持する複数のピンと、基板を収容可能な収容溝を有するチャックとを備える基板保持手段と、前記基板保持手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部とを結ぶ軸線を中心に回動させることにより、前記基保持手段によって保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第1の鉛直姿勢、および前記第1の鉛直姿勢に対して上下反転の関係にある第2の鉛直姿勢、のうちのいずれかの姿勢とすることを許容する第1駆動手段と、前記第1ポジションおよび前記第2ポジションの間で前記基板保持手段を移動させる第2駆動手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
