特許
J-GLOBAL ID：200903028670197864

半導体ウェーハの保持用グリッパー及び保持方法並びに形状測定装置

発明者：
大西 理

大西 理 について

, 
金谷 晃一

金谷 晃一 について


出願人/特許権者：
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について

, 
日本エー・ディー・イー株式会社

日本エー・ディー・イー株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-074503
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261271
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】ウェーハを保持するときにグリッパーの傾きがあっても、一定の状態で安定してウェーハを保持できるグリッパー、及び保持方法、並びに形状測定装置を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ6の形状測定の際に半導体ウェーハ6を保持するための短冊形状の保持用グリッパー1であって、半導体ウェーハ6を保持する側がラウンド形状であり、ラウンド形状部4の側面に、側面に沿って半導体ウエーハ6のエッジ7を保持するための溝5を有し、ウェーハ6の周囲から溝5が半導体ウェーハ6のエッジ7に当接して半導体ウェーハ6を保持する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハの形状測定の際に該半導体ウェーハを保持するための短冊形状の保持用グリッパーであって、前記半導体ウェーハを保持する側がラウンド形状であり、該ラウンド形状部の側面に、該側面に沿って前記半導体ウエーハのエッジを保持するための溝を有し、ウェーハの周囲から前記溝が該半導体ウェーハのエッジに当接して半導体ウェーハを保持するものであることを特徴とする保持用グリッパー。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/66 J
Fターム (20件)：
4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ32 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA06 ,  5F031HA07 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA30 ,  5F031HA45 ,  5F031HA59 ,  5F031JA09 ,  5F031JA13 ,  5F031JA32 ,  5F031JA33 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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