特許

J-GLOBAL ID：200903028740783081

ハーフトーン型位相シフトフオトマスク

発明者： 栗原正彰
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-152145
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 比較的簡単で、短時間にて作製ができる、正規パターンの外周部に遮光性の帯を設けたハーフトーン型位相シフトフオトマスクを提供する。【構成】 ステップアンドレピート露光するための、投影露光用ハーフトーン型位相シフトフオトマスクであって、正規のパターンの外周部に幅1〜10mmの遮光性帯を設けてあるハーフトーン型位相シフトフオトマスク。

請求項（抜粋）：

感光性レジストを塗布したウエーハに、ステップアンドレピート露光するための、投影転写用のハーフトーン型の位相シフトフオトマスクであって、正規のパターンの外周部に所定幅の遮光帯を設けてあることを特徴とするハーフトーン型位相シフトフオトマスク。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 528

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-136854
  
• 露光用マスク及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-278659   出願人：富士通株式会社
• 露光用原図基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-148397   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-136854