特許
J-GLOBAL ID：200903028752043881
LSIハンドラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-273675
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123207
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 LSIテスタによるLSI電気検査において、エリアバンプの様に微細化したLSI電極に正確にプロービングする為に、LSIとプローブの位置合わせを精度良く行う。【解決手段】 トレー部からピックアップしたLSI13は、先ずハンドラ部9により位置決めステージ部2に搬送し、LSIパッケージ外形基準で片当て補正を行った後、画像処理部内のCCDカメラ部4上に搬送し、LED照明部3の側射照明により得られるバンプ電極画像を二値化処理し、各バンプの平均重心座標を算出、予め記憶しているプロービング位置座標と比較することにより位置ずれ量を算出、補正移動を行う。この手順でLSIとプロープの位置合せが完了した後、ハンドラ部9はLSI13をソケット部10に搬送、LSI電極にプロービングする。
請求項（抜粋）：
LSIの電気検査を行うため、LSIのバンプ電極にプロープを位置合せするLSIハンドラにおいて、LSIを搭載したトレー部と、LSIパッケージの外形を基準とした位置決めを行う位置決めステージ部と、LSIの微細化されたバンプ電極を画像として取り込むCCDカメラ部と、前記バンプ電極を任意の光量、角度で照射するLED照明部と、前記CCDカメラ部で取り込んだバンプ電極画像を記憶する画像メモリボード部と、前記LED照明部のON/OFF及び光量を予め記憶したパラメータにより制御し、前記画像処理ボード部への画像書き込み/読み込み制御を行うと共に、前記画像メモリボード部に記憶したバンプ電極画像から二値化処理によりバンプ電極座標を求め、予め記憶しているプロービング位置座標からの位置ずれ補正量を算出し、ハンドラ制御部に送信する中央処理部とを有する画像処理部と、プローブとLSIソケットで構成されるソケット部と、前記トレー部からピックアップしたLSIを前記位置決めステージ部でLSIパッケージ外形基準で片当て補正を行ない、予め記憶した移動量だけ移動してLSIを前記画像処理部上に搬送し、その後、前記画像処理部に画像取込み、画像処理実行コマンドを送出すると共に、前記画像処理部で算出した補正量に従い、ハンドラを補正移動した後、予め記憶した移動量を移動し、前記プローブにコンタクトさせるハンドラ制御部と、前記ハンドラ制御部からの移動コマンドに従いX,Y,θ方向に高精度で移動するハンドラ部とで構成され、前記ハンドラ部が前記トレー部、前記位置決めステージ部、前記画像処理部、前記ソケット部の順でLSIの位置ずれを補正しながら搬送移動し、前記プローブにて前記バンプ電極にプロービングすることを特徴とするLSIハンドラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 J
, H01L 21/66 G
