硬質炭素膜被覆部材

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179013
公開番号（公開出願番号）：特開2000-008155
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】中間層と硬質炭素膜との間の密着性を向上させようとするものである。【解決手段】基材上に複数の被膜層を積層してなり、上記基材を、超硬合金、サーメット、鋼材、窒化ケイ素、ジルコニア、炭化ケイ素、アルミナ、アルミニウム合金、マグネシウム合金、又はチタン合金のいずれかから選び、上記被膜層の最外層を硬質炭素層から形成し、上記基材と最外層の間の中間層のうち、最外層に内接する中間層を、4族の金属、5族の金属、6族の金属、Si、Al、又はGeの中から選ばれる1種又は複数種の金属を含む金属の炭化物、窒化物、又は炭窒化物とし、上記最外層とこの中間層との界面部に存在する酸素濃度を、最大値で3at%、又は、界面を基準に±50nmの範囲の平均値で2at%以下とする。

請求項（抜粋）：

基材上に複数の被膜層を積層してなり、上記基材は、超硬合金、サーメット、鋼材、窒化ケイ素、ジルコニア、炭化ケイ素、アルミナ、アルミニウム合金、マグネシウム合金、又はチタン合金のいずれかから選ばれ、上記被膜層の最外層は硬質炭素層からなり、上記基材と最外層の間の中間層のうち、最外層に内接する中間層は、4族の金属、5族の金属、6族の金属、Si、Al、又はGeの中から選ばれる1種又は複数種の金属を含む金属の炭化物、窒化物、又は炭窒化物であり、上記最外層とこの中間層との界面部に存在する酸素濃度が、最大値で3at%、又は、界面を基準に±50nmの範囲の平均値で2at%以下である硬質炭素膜被覆部材。

IPC (5件)：

C23C 14/06 , B23B 27/14 , C23C 16/26 , C23C 16/50 , C23C 28/04

FI (6件)：

C23C 14/06 F , C23C 14/06 P , B23B 27/14 A , C23C 16/26 , C23C 16/50 , C23C 28/04

Fターム (53件)：

3C046FF02 , 3C046FF03 , 3C046FF04 , 3C046FF05 , 3C046FF09 , 3C046FF17 , 3C046FF18 , 3C046FF22 , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029AA24 , 4K029BA34 , 4K029BA54 , 4K029BA55 , 4K029BA57 , 4K029BA58 , 4K029BA60 , 4K029BB02 , 4K029BB10 , 4K029BC02 , 4K029BD03 , 4K029BD05 , 4K029CA04 , 4K029CA06 , 4K029DD04 , 4K029DD06 , 4K030AA09 , 4K030AA10 , 4K030BA28 , 4K030BA36 , 4K030BA38 , 4K030BA41 , 4K030BB03 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030CA05 , 4K030CA17 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030LA21 , 4K030LA22 , 4K030LA23 , 4K044AA02 , 4K044AA06 , 4K044AA09 , 4K044AA13 , 4K044AB02 , 4K044BA18 , 4K044BB02 , 4K044BC05 , 4K044BC06 , 4K044CA13 , 4K044CA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

硬質炭素被膜の形成方法と耐摩耗性部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-243043 出願人：住友電気工業株式会社
特開平4-337085
アーク式蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-108251 出願人：日新電機株式会社

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