特許

J-GLOBAL ID：200903028792277079

板状物搬送装置

発明者： 山中 聡 ,  高澤 徹
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354464
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158167
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 板状物を2点間で搬送する場合において、搬送元及び搬送先の板状物保持用のテーブルと搬送用の吸着パッドとの間の平行状態が保たれていない場合においても、経済的な方法で板状物を吸引保持して安全かつ円滑に搬送できるようにする。【解決手段】 板状物を保持する吸着パッド11と、吸着パッド11を支持する支持手段12と、支持手段12を移動させる駆動手段13aとから構成される板状物搬送装置10において、支持手段12が吸着パッド11を第一の平面と第二の平面とに選択的に位置付けることにより、吸着パッド11の吸着面を2段階に調節する。

請求項（抜粋）：

板状物を保持する吸着パッドと、該吸着パッドを支持する支持手段と、該支持手段を移動させる駆動手段とから構成される板状物搬送装置であって、該支持手段は、該吸着パッドを第一の平面と第二の平面とに選択的に位置付けることを特徴とする板状物搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06

FI (2件)：

H01L 21/68 B ,  B25J 15/06 G

Fターム (25件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FU00 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA25 ,  5F031GA26 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ワーク処理ハンド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-296764   出願人：ダイキン工業株式会社
• 吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-339610   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開昭62-039191