特許
J-GLOBAL ID：200903028819310383

液晶表示装置の製造方法

発明者：
小沢 清

小沢 清 について

, 
間島 庭司

間島 庭司 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088075
公開番号（公開出願番号）：特開平8-286209
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 液晶表示装置の製造方法に関し、電極・配線を覆う絶縁膜を陽極酸化膜で構成する場合、耐圧や低リーク電流性などの特性が優れた陽極酸化膜が得られる電解条件などを容易に設定することができるようにする。【構成】 Al-バルブ金属固溶体からなる電極・配線を形成し、無機酸アンモニウム塩並びに有機酸アンモニウム塩を電解質として用い且つpHを5.5乃至8.5の範囲に調整して前記電極・配線を陽極酸化する工程が含まれる。
請求項（抜粋）：
バルブ金属の組成が5原子〔%〕以下であるAl-バルブ金属固溶体からなる電極・配線を形成する工程と、次いで、四ほう酸アンモニウム及び五ほう酸アンモニウム及びほう酸アンモニウムから選択された無機酸アンモニウム塩と酒石酸アンモニウム及びクエン酸アンモニウム及びアジピン酸アンモニウム及びフタル酸アンモニウム及び蓚酸アンモニウム及びサリチル酸アンモニウム及び炭酸アンモニウムから選択された有機酸アンモニウム塩とを混合し且つpHを5.5乃至8.5の範囲に調整した電解質を用いて前記電極・配線を陽極酸化する工程とが含まれてなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (3件)：
G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 29/78 617 W
引用特許：
審査官引用 (4件)
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