特許

J-GLOBAL ID：200903028917652322

欠陥検査方法

発明者： 久保 泰康 ,  小林 彰 ,  横前 みすず
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087860
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287640
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 円板状の被検査物の形状を利用して簡易な駆動装置により高速、低コストにクラック等の欠陥検査を行う。【解決手段】 照射光の一部が内部に浸透して拡散する材質よりなる被検査物1の表面にライン状に光を照射し、被検査物1の表面の光照射ライン8に対して適当間隔Dをあけて平行に設定した検出ライン7上の光強度を検出しながら光照射ライン8及び検出ライン7と被検査物1とを相対移動させて被検査物1の欠陥を検出する欠陥検査方法において、円板状の被検査物1を検査する際に、被検査物1を駆動装置2によってその中心周りに回転させながら検出ライン7上の光強度を検出する。

請求項（抜粋）：

照射光の一部が内部に浸透して拡散する材質よりなる被検査物の表面にライン状に光を照射し、被検査物の表面の光照射ラインに対して適当間隔をあけて平行に設定した検出ライン上の光強度を検出しながら光照射ライン及び検出ラインと被検査物とを相対移動させて被検査物の欠陥を検出する欠陥検査方法において、円板状の被検査物を検査する際に、被検査物を駆動装置によってその中心周りに回転させながら検出ライン上の光強度を検出することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (2件)：

G01B 11/30 D ,  G01N 21/88 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 欠陥検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-113551   出願人：松下電器産業株式会社
• 表面検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-288756   出願人：ソニー・テクトロニクス株式会社