特許
J-GLOBAL ID：200903059253139005
欠陥検査方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113551
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297110
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 被検査物表面にライン状に光を照射し、被検査物表面の光照射ラインに対して適当間隔あけて平行に設定した検出ライン上の光強度を検出しながら、光照射ライン及び検出ラインと被検査物を相対移動させ、入力した画像信号から被検査物の欠陥を検出する欠陥検査方法において、画像信号を高速で処理して短時間で検査結果を得、検査能率を向上する。【解決手段】 検査領域全体の画像を取り込んで検査処理エリアを設定する工程と、画像信号を一次処理する工程を並行して行い、その後設定された処理エリア内の一次処理された検出データを二次処理して欠陥を判定する工程を行ない、画像信号の一次処理と処理エリアの設定の並行処理により処理時間の短縮を図るようにした。
請求項（抜粋）：
被検査物表面にライン状に光を照射し、被検査物表面の光照射ラインに対して適当間隔あけて平行に設定した検出ライン上の光強度を検出しながら光照射ライン及び検出ラインと被検査物を相対移動させて被検査物の欠陥を検出する欠陥検査方法において、検査領域全体の画像を取り込んで検査処理エリアを設定する工程と、画像信号を一次処理する工程を並行して行い、その後設定された処理エリア内の一次処理された検出データを二次処理して欠陥を判定する工程を行なうことを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 J
, G01B 11/30 G
審査官引用 (7件)
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特表平4-506411
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特開平4-339653
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特開平4-093755
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