熱処理炉

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-143927
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316160
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】熱処理炉に於いてパーティクルの発生、熱処理炉の構成物の劣化を防止する。【構成】反応ガスと接触する構成要素の少なくとも表面は炭化硅素材とし、構成要素と堆積膜の熱膨張差を減少させ、又水素ガスとの反応を防止し、堆積膜の剥離を防止し、又反応ガスと接触する構成要素の劣化を防止する。

請求項（抜粋）：

反応ガスと接触する構成要素のうち少なくともボート、インナチューブ、ボートキャップ、アウタチューブのうち、いずれか1つの少なくとも表面は堆積膜の熱膨張係数に近い材料としたことを特徴とする熱処理炉。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 , H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/22 511 M , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

成膜方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-241906 出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開昭64-083668
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-072628 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

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