欠陥検出用顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258558
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094760
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、被観察対象物の欠陥検査を効率よく行うことができ、作業時間の大幅な短縮を図ることができる欠陥検出用顕微鏡を提供する。【解決手段】対物レンズ3を通して被観察対象物11の観察像を撮像するTVカメラ9として、撮像視野の全体画素から所定の規則で間引いた画素だけを読み出し撮像視野全体の画像を出力するノーマルビューモードと撮像視野の全体画素の一部の画素だけを読み出し出力するクローズアップモードを有する高精細のTVカメラを用い、このTVカメラ9のノーマルビューモードにより得られた撮像視野の全体画像より欠陥解析装置13にて欠陥22の位置x、yと大きさを求め、このらの欠陥情報に基づいて撮像視野の複数分割した領域を特定するとともに、クローズアップモードにより撮像視野のうちの特定領域に相当する画素を読み出し、TVモニタ10に拡大表示する。

請求項（抜粋）：

光学系を通して取り込まれる被観察対象物の観察像に基づいて前記被観察対象物の欠陥を検出する欠陥検出用顕微鏡において、前記被観察対象物の観察像を撮像するとともに、撮像視野の全体画素から所定の規則で間引いた画素を読み出し撮像視野全体の画像を出力するノーマルビューモードと撮像視野の全体画素の一部の画素を読み出し出力するクローズアップモードを有する高精細撮像手段と、この撮像手段のノーマルビューモードにより得られた画像より欠陥情報を検出する欠陥情報検出手段と、この欠陥情報検出手段により検出された欠陥情報に基づいて前記撮像手段の撮像視野の領域を特定するとともに、前記撮像手段のクローズアップモードにより前記撮像視野のうち前記特定領域に相当する画素を読み出す制御手段と、この制御手段により読み出された前記特定領域の画素を拡大表示する表示手段とを具備したことを特徴とする欠陥検出用顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G02B 21/00 , G02B 21/36

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G02B 21/00 , G02B 21/36

引用特許：

審査官引用 (7件)

欠陥検出用顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-016218 出願人：オリンパス光学工業株式会社
撮像式検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-072013 出願人：積水化学工業株式会社
特開平3-175411

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