特許
J-GLOBAL ID：200903029070832252
圧電結晶発振式膜厚計
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344055
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160057
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 圧電結晶の交換頻度を低減して従来より寿命を長くすることができる圧電結晶発振式膜厚計を提供すること。【解決手段】 圧電結晶3の固有振動数を5MHzよりも低くして、表面3aに堆積した膜の応力による影響を小さくし、圧電結晶の基本振動を維持させる。また、圧電結晶3の表裏面3a、3bに形成する電極膜10a、10bをそれぞれ島状に形成すると共に、圧電結晶3の周縁部における表面3aと裏面3bとで電極膜10a、10bの形成領域が重ならないようにして、圧電結晶3の周縁部にて現れる寄生振動を抑制し、圧電結晶3の基本振動を維持させる。これにより、圧電結晶3の寿命を従来より大幅に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
真空チャンバ内に設置された圧電結晶上へ成膜材料を堆積させ、前記成膜材料の堆積による前記圧電結晶の固有振動数の変化に基づいて、被処理基板上に堆積される前記成膜材料の膜厚を測定するようにした圧電結晶発振式膜厚計において、前記圧電結晶の固有振動数を5メガヘルツよりも低くすることにより、成膜中における前記圧電結晶の基本振動を維持させるようにしたことを特徴とする圧電結晶発振式膜厚計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 17/02 A
, C23C 14/54 C
