特許
J-GLOBAL ID：200903029079793993
エアロゾル吐出ノズルおよび被膜形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-207475
公開番号（公開出願番号）：特開2008-029977
出願日： 2006年07月31日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】基材との設置間隔が狭い場合でも使用でき、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能なエアロゾル吐出ノズル、および該ノズルを用いた被膜形成装置を提供する。【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材の成膜部に向けて吐出するための矩形形状の吐出開口部1aを有するエアロゾル吐出ノズル1であって、該エアロゾル吐出ノズル1は、吐出開口部1a長辺の両端部に、該ノズル内において吐出開口部長辺の両端側1bを通過する微粒子を成膜部に向かない方向に変向して吐出させる逃がし穴1cを有する。本発明の被膜形成装置は、このエアロゾル吐出ノズル1を備えてなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材の成膜部に向けて吐出するための矩形形状の吐出開口部を有するエアロゾル吐出ノズルであって、
該エアロゾル吐出ノズルは、前記吐出開口部長辺の両端部に、該ノズル内において前記吐出開口部長辺の両端側を通過する前記微粒子を前記成膜部に向かない方向に変向して吐出させる逃がし穴を有することを特徴とするエアロゾル吐出ノズル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4F033RA02
, 4F033RA04
, 4F033RA14
, 4F033RE17
, 4K044BA13
, 4K044CA23
, 4K044CA29
, 4K044CA51
, 4K044CA71
