特許
J-GLOBAL ID：200903029085730901

ウエハの周縁形状検出装置

発明者：
楠田 達文

楠田 達文 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316678
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159422
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 簡単な構成でウエハの周縁に形成された形状変化部を確実に検出する。【解決手段】 透過型光センサからなるセンサ部9でウエハの周縁部に線状光束を投光し、その透過光量を光電変換してなる信号がアンプで増幅された後、微分回路で微分波形の微分信号VQに変換される。形状変化部が線状光束を横切ると、透過量が急変するので、これに応じて光信号の波形は急変し、その微分信号VQにはパルス状の検出信号が発生する。検出部12では微分信号のレベルが所定の閾値を越えると、形状変化部の検出信号SDETが出力される。形状変化部の通過による線状光束の透過光量の変動に応じた光信号のレベル変化の傾きを検出することによりウエハの偏心回転による光信号のレベル変化と形状変化部によるレベル変化とを識別して形状変化部のみを確実に検出する。
請求項（抜粋）：
ウエハの周縁に形成された形状変化部を検出するウエハの周縁形状検出装置であって、上記ウエハの一方面側から光束を上記ウエハの周縁部に投光し、他方面側でこの光束を受光するとともに光電変換して信号を出力する光センサと、上記光センサから出力された信号の波形を微分波形に変換する微分手段と、上記微分手段により微分波形に変換された信号のレベル変化から上記形状変化部を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とするウエハの周縁形状検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
G01B 11/24 F ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 M ,  G06F 15/62 405 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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