磁気式加速度センサとそれを用いた小型の加速度地磁気検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-137644
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317184
出願日： 2005年05月10日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】3軸の磁気式加速度センサと小型の加速度地磁気検出装置を提供することにある。【解決手段】3軸の磁気式加速度センサの各軸の加速度センサは、板バネと、検出方向の加速度と逆方向に変位するように該板バネに支持され、軟磁性材のヨークとギャップからなる磁気回路を構成した検出用磁石と、該ギャップの長さの方向に垂直な方向の磁界を検出する磁界検出素子からなり、各加速度センサの各板バネは同一のブロックに固定され、Z軸の加速度センサはX軸の加速度センサの角度位置からY軸の加速度センサの角度位置までの90度の角度範囲内に配置され、小型の加速度地磁気検出装置は、お互いの磁界検出素子が最も離れるように四角形のパッケージの同一の対角線上に配置された、前記3軸の磁気式加速度センサと地磁気センサと、それぞれの検出回路部からなっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板バネと、検出方向の加速度と逆方向に変位するように、該板バネに支持された検出用磁石と、該検出用磁石が発生する磁界を検出する磁界検出素子からなる磁気式加速度センサにおいて、該検出用磁石は軟磁性材のヨークとギャップからなる磁気回路を構成し、該磁界検出素子は該ギャップの長さの方向に垂直な方向の磁界を検出するように配置されていることを特徴とする磁気式加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/105 , G01C 17/30 , G01P 15/18

FI (3件)：

G01P15/08 C , G01C17/30 Z , G01P15/00 K

引用特許：

出願人引用 (1件)

磁気式加速度センサ及び加速度検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-058998 出願人：キヤノン電子株式会社

審査官引用 (17件)

特開平3-209172
リニア変位センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-269487 出願人：アサ電子工業株式会社
特開昭54-052567

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