特許
J-GLOBAL ID：200903029121574717
希土類六ホウ化物ナノワイヤ熱イオン電子エミッタ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-104372
公開番号（公開出願番号）：特開2008-262794
出願日： 2007年04月12日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】希土類六ホウ化物ナノワイヤを電子放出ユニットとして用いることで高放出電流密度熱イオンエミッタを形成すること。【解決手段】希土類六ホウ化物ナノワイヤ熱イオンエミッタには2種類ある。第1のタイプは面エミッタであり、薄膜状の希土類六ホウ化物ナノワイヤをヒータとして機能する材料の表面上に堆積することで形成することができる。第2のタイプは点エミッタであり、ヒータ本体上に1本の希土類六ホウ化物ナノワイヤを取り付けることで形成することができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
面エミッタの製造は以下の工程:
(工程1)特定の用途に応じた所望のカソードフィラメント形状の形成と、
(工程2)触媒膜のフィラメント表面上への堆積と、
(工程3)化学気相成長法による、フィラメント表面上での希土類六ホウ化物ナノワイヤ薄膜の成長とを伴う。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (7件)
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特開昭57-191931
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特開昭57-128436
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特開昭57-191931
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引用文献：
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