特許

J-GLOBAL ID：200903029147450480

プローブユニット、検査装置、電気光学パネル基板の検査方法および電気光学装置の製造方法

発明者： 佐々木 務
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-254844
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066067
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 高密度に配列されたパターンに対しても高精度且つ効率的に検査を行うことのできるプローブユニット、検査装置、電気光学パネル基板の検査方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】 プローブユニット200は、可撓性基板200Fと、この可撓性基板200Fを背面側から支持する弾性部材204と、弾性部材204を背面側から支持する支持部材205とを有する。可撓性基板200Fには、可撓性絶縁基材201,203が設けられ、これらの間に導電層で構成された複数のリード202が並列配置されている。リード202の先端には、露出されたプローブ部202aが設けられている。

請求項（抜粋）：

可撓性絶縁基材、及び、該可撓性絶縁基材上に配置され、前面側に露出したプローブ部をそれぞれ有する複数の導体層、を備えた可撓性基板と、前記可撓性基板を背面側から支持する弾性部材と、前記弾性部材を支持する支持部材と、を有することを特徴とするプローブユニット。

IPC (8件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 352

FI (8件)：

G01R 1/073 F ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 352 ,  G01R 31/28 K

Fターム (45件)：

2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AA21 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC00 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AF01 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB21 ,  2G014AC09 ,  2G014AC10 ,  2G036AA27 ,  2G036BA33 ,  2G036BB12 ,  2G036CA00 ,  2G132AA00 ,  2G132AA20 ,  2G132AB01 ,  2G132AD15 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AL03 ,  2G132AL11 ,  2H088FA11 ,  2H088FA29 ,  2H088HA02 ,  2H088HA05 ,  2H088MA20 ,  2H092GA50 ,  2H092GA53 ,  2H092HA04 ,  2H092HA20 ,  2H092NA15 ,  2H092NA17 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  5G435AA17 ,  5G435AA19 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• コンタクトプローブにおける接触端の構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-036583   出願人：株式会社双晶テック
• 液晶パネル用基板、その製造方法、液晶装置及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-012903   出願人：セイコーエプソン株式会社