特許
J-GLOBAL ID：200903029179378179
反射型空間光変調器の構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 義仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-515727
公開番号（公開出願番号）：特表2005-529377
出願日： 2003年05月30日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
本発明は、第1の基板(105)から作られた、選択的に反射する偏向可能なマイクロミラー・アレイ(103)板(202)を持つ反射型空間光変調器である。別の基板上には、マイクロミラー・アレイ(103)用のアドレッシング及び制御回路(106)があり、この制御回路(106)がマイクロミラー板(204)に関連した選択された電極(126)に供給される電圧を制御することができるようにしている。典型的には、制御回路(106)は、ディスプレイ制御装置(108)、ラインメモリ・バッファ(110)、パルス幅変調アレイ(112)、及びビデオ信号(120)及びグラフィック信号(110)用の入力装置を含む。ミラー・アレイ基板(105)は更にスペーサ支持フレーム(210)とヒンジ(206)を持ち、そこに取り付けられたヒンジは、ミラー・アレイ板(204)に静電力が適用されたとき、ミラー板(204)がスペーサ支持フレーム(210)に対して回転することができるようにする。この回転は、選択された方向に光を反射するための角度偏向を生成する。第1及び第2の基板は共に接合される。
請求項（抜粋）：
制御回路基板と、前記制御回路基板に接合されたミラー・アレイ基板とを具備する空間光変調器であって、
前記制御回路基板は、
選択された電圧を受ける複数の電極と、
メモリバッファと、
ディスプレイ制御器と、
パルス幅変調アレイとを含み、
前記ミラー・アレイ基板は、
複数のマイクロミラー板と、
前記複数のマイクロミラー板を前記制御回路基板から離隔し、該マイクロミラー板を支持するスペーサ支持フレームと、
それぞれが前記スペーサ支持フレームと前記マイクロミラー板に接続されており、ヒンジ軸の周りで該ミラー板が該スペーサ支持フレームに対して回転しうるようにする、複数のヒンジとを含む、
ことを特徴とする空間光変調器。
IPC (3件)：
G02B26/08
, G09G3/20
, G09G3/34
G02B26/08 E
, G09G3/20 612R
, G09G3/20 621M
, G09G3/20 631A
, G09G3/20 641A
, G09G3/20 680G
, G09G3/34 D
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 5C080AA18
, 5C080BB05
, 5C080DD03
, 5C080DD28
, 5C080EE29
, 5C080FF09
, 5C080JJ06
, 5C080JJ07
