特許
J-GLOBAL ID:200903029209630234
垂直磁気記録媒体の製造方法及び垂直磁気記録媒体と磁気記録再生装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-142838
公開番号(公開出願番号):特開2007-317255
出願日: 2006年05月23日
公開日(公表日): 2007年12月06日
要約:
【課題】本発明は、磁気記録層の結晶粒界相を2種類以上の酸化物で形成することで、安定な結晶粒界相を提供し、磁性粒子間の相互作用を低減することで低ノイズ化を実現し、より高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を得ることにある。【解決手段】本発明は、磁性層のうち少なくとも1層を、スパッタリング法を用いて2種類以上の異なる組成を持つターゲットを同時放電させながら形成し、さらに該磁性層の微細構造を強磁性の結晶粒と非磁性である酸化物の結晶粒界相とから構成することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層と磁性層と保護膜とが順次積層されてなる垂直磁気記録媒体の製造方法であって、前記磁性層のうち少なくとも1層を、スパッタリング法を用いて2種類以上の異なる組成を持つターゲットを同時放電させながら形成し、さらに該磁性層の微細構造を強磁性の結晶粒と非磁性である酸化物の結晶粒界相とから構成することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
IPC (8件):
G11B 5/851
, G11B 5/65
, G11B 5/64
, C23C 14/34
, C23C 14/14
, C23C 14/08
, C23C 14/06
, C23C 14/56
FI (12件):
G11B5/851
, G11B5/65
, G11B5/64
, C23C14/34 A
, C23C14/34 C
, C23C14/14 F
, C23C14/08 M
, C23C14/08 N
, C23C14/06 N
, C23C14/06 T
, C23C14/34 P
, C23C14/56 K
Fターム (27件):
4K029AA02
, 4K029AA09
, 4K029BA21
, 4K029BA24
, 4K029BA43
, 4K029BB02
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029DC04
, 4K029DC05
, 4K029DC16
, 5D006BB01
, 5D006BB06
, 5D006BB07
, 5D006DA03
, 5D006DA08
, 5D006EA03
, 5D006FA00
, 5D006FA09
, 5D112AA05
, 5D112AA17
, 5D112AA24
, 5D112BB01
, 5D112BB06
, 5D112FA04
, 5D112FB04
, 5D112FB06
引用特許: