固体撮像素子およびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-031801
公開番号（公開出願番号）：特開2005-223242
出願日： 2004年02月09日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】 3μm以下のレンズサイズ(画素サイズ)であっても、表面荒れが少なく高透過率の転写レンズ(マイクロレンズ)を有する固体撮像素子を提供する。【解決手段】 2次元的に配置された光電変換素子17と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルター11と、カラーフィルター上に直接あるいは間接的に積層された複数の転写レンズ14を具備する固体撮像素子において、転写レンズが可視域外に光吸収をもつ色材、もしくは、熱処理又は放射線照射により脱色された色材を含有する。なお、色材が、昇華性染料、もしくは、熱処理又は放射線照射により脱色する染料であること、転写レンズを構成する透明樹脂が、アクリル樹脂、もしくは、フッ素系アクリル樹脂であることも含まれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたカラーフィルターと、カラーフィルター上に直接あるいは間接的に積層された複数の転写レンズを具備する固体撮像素子において、該転写レンズが可視域外に光吸収をもつ色材、もしくは、熱処理又は放射線照射により脱色された色材を含有することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L27/14 , G02B5/20 , H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D , G02B5/20 101 , H04N5/335 U

Fターム (22件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB08 , 2H048BB10 , 2H048BB46 , 4M118AA01 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118FA06 , 4M118GC01 , 4M118GC08 , 4M118GC14 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 4M118GD20 , 5C024CX41 , 5C024EX24 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5C024GX02

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-53073号公報
特開平 1-10666号公報
特開昭61-42630号公報

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審査官引用 (4件)

半導体ウエハの加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-261035 出願人：日東電工株式会社
固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-293184 出願人：凸版印刷株式会社
特開平3-190166

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