欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222995
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035678
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】面板表面の凹凸欠陥について凹部欠陥と凸部欠陥を精度よく区別して検出することができる欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、配列されたn個の受光素子を有し主走査方向に対して直角な方向に沿った結像が受光素子の配列方向となる受光系を設け、n個の受光素子の配列方向のそれぞれ受光素子の検出信号において、凹部欠陥あるいは凸部欠陥について上限ピークと下限ピークとを得る。そして、受光素子の配列方向における上限ピークと下限ピークとの関係に応じて凹部欠陥か、凸部欠陥かを判定して欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

面板の表面を光ビームにより走査し、前記光ビームによる前記表面からの反射光を受光器により受光してこの受光器が欠陥検出のための検出信号を発生する欠陥検出光学系において、主走査方向に対して直角な方向に幅のある前記光ビームを照射して前記面板を相対的に走査する投光系と、前記受光器が配列されたn個(ただしnは2以上の整数)の受光素子を有し前記面板の走査位置の映像を前記n個の受光素子に結像しかつ前記直角な方向に沿った結像が前記配列方向となる受光系とを備え、ある走査位置での前記n個の受光素子のn個の前記検出信号のうちの上限ピーク値と下限ピーク値との差が所定値以上あるときに、前記受光素子の配列方向における上限ピークと下限ピークとの関係に応じて凹部欠陥か、凸部欠陥かを判定してこれらの欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出光学系。

IPC (3件)：

G01N 21/95 , G01B 11/30 , G11B 5/84

FI (3件)：

G01N 21/95 A , G01B 11/30 A , G11B 5/84 C

Fターム (37件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB03 , 2F065CC03 , 2F065FF01 , 2F065FF17 , 2F065FF44 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ18 , 2F065LL09 , 2F065MM03 , 2F065QQ02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2F065UU07 , 2G051AA71 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051BC07 , 2G051CA03 , 2G051CD05 , 2G051DA08 , 2G051EA03 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112JJ03

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-073831
表面検査方法および表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-077985 出願人：株式会社ニュークリエイション
特開昭60-147945

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