特許

J-GLOBAL ID：200903057400656816

欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置

発明者： 石黒 隆之
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-184626
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257742
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】面板表面の凹凸欠陥の大きさを精度よく検出することができる欠陥検出光学系および検査装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、配列されたn個の受光素子を有し主走査方向に対して直角な方向に沿った結像が受光素子の配列方向となる受光系を設け、かつ、走査方向の結像の幅が受光素子の幅か、これより小さく、凹部欠陥あるいは凸部欠陥の反射光が受光素子の幅方向に振れて受光領域が減少するようにすることで、凹部欠陥あるいは凸部欠陥の反射光が欠陥の側面傾斜部分で左右いずれかに振れたときに、受光量が低減して、欠陥のないときより低下する2つの検出信号を得るものである。

請求項（抜粋）：

面板の表面を光ビームにより走査し、前記光ビームによる前記表面からの反射光を受光器により受光してこの受光器が欠陥検出のための信号を発生する欠陥検出光学系において、主走査方向に対して直角な方向に幅のある前記光ビームを照射して前記面板を相対的に走査する投光系と、前記受光器が、配列されたn個(ただしnは2以上の整数)の受光素子を有し前記面板の走査位置の映像を前記n個の受光素子に結像しかつ前記直角な方向に沿った結像が前記配列方向となる受光系とを備え、前記主走査方向の前記結像の幅が前記受光素子の幅か、これよりも小さく、凹部欠陥あるいは凸部欠陥からの反射光をある前記受光素子が受けたときにその前記結像が前記配列方向に対して直角方向となる前記ある受光素子の幅方向に振れてその受光量が減少しあるいは受光しなくなることを特徴とする欠陥検出光学系。

IPC (5件)：

G01N 21/95 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/22 ,  G01B 11/30 ,  G11B 5/84

FI (5件)：

G01N 21/95 A ,  G01B 11/02 H ,  G01B 11/22 H ,  G01B 11/30 A ,  G11B 5/84 C

Fターム (50件)：

2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA58 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065BB24 ,  2F065BB25 ,  2F065CC03 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL08 ,  2F065LL09 ,  2F065MM00 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU05 ,  2G051AA71 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CD05 ,  2G051DA08 ,  2G051EA02 ,  2G051EA03 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112JJ05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-132861   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 表面検査方法および表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-077985   出願人：株式会社ニュークリエイション
• 特開昭60-147945