超電導薄膜およびその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231813
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112560
出願日： 1997年08月13日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】成膜直後に特性の劣化が起こらず、また、特性の経時変化も起こらない酸化物超電導体層を有する超電導薄膜。【解決手段】酸化物超電導体層とこの酸化物超電導体層の表面を被覆して保護する酸化物の保護層を有する。

請求項（抜粋）：

酸化物超電導体層とこの酸化物超電導体層の表面を被覆して保護する酸化物の保護層を有することを特徴とする超電導薄膜。

IPC (7件)：

H01L 39/24 ZAA , C01G 1/00 , C01G 3/00 ZAA , C04B 41/89 ZAA , H01B 12/06 ZAA , H01B 13/00 565 , H01L 39/22 ZAA

FI (7件)：

H01L 39/24 ZAA B , C01G 1/00 S , C01G 3/00 ZAA , C04B 41/89 ZAA A , H01B 12/06 ZAA , H01B 13/00 565 D , H01L 39/22 ZAA G

引用特許：

審査官引用 (5件)

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