特許
J-GLOBAL ID：200903029281067528

炭素元素円筒型構造体へのオーミック接続構造及びその作製方法

発明者：
二瓶 瑞久

二瓶 瑞久 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (5件)： 石田 敬 ,  吉田 維夫 ,  鶴田 準一 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-288833
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】カーボンナノチューブ等の炭素元素円筒型構造体の成長と同時に実現できる炭素元素円筒型構造体へのオーミック接続構造とその作製方法を提供すること。【解決手段】接続対象に接合した炭素元素円筒型構造体51の接合部の内部に金属材料59が位置し、炭素元素円筒型構造体51と接続対象57とがオーミック接触により接続しているオーミック接続構造とする。このオーミック接続構造は、一つの方法として、炭素元素円筒型構造体とのオーミック接触が可能である接続対象上に金属材料を配置し、化学気相成長の際の温度上昇により接続対象の材料と金属材料とを合金化し、この合金中の当該金属材料の粒子を化学気相成長の触媒として炭素元素円筒型構造体を成長させる方法により製作できる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
接続対象に接合した炭素元素円筒型構造体の接合部の内部に金属材料が位置し、炭素元素円筒型構造体と接続対象とがオーミック接触により接続していることを特徴とする、炭素元素円筒型構造体へのオーミック接続構造。
IPC (7件)：
H01L21/768 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/02 ,  C23C16/26 ,  H01L21/285 ,  H01L21/3205
FI (7件)：
H01L21/90 B ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/02 101F ,  C23C16/26 ,  H01L21/285 C ,  H01L21/88 M
Fターム (38件)：
4G146AA11 ,  4G146AD22 ,  4G146AD30 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC27 ,  4G146BC34 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030FA17 ,  4M104BB36 ,  4M104DD43 ,  4M104FF06 ,  4M104HH15 ,  4M104HH16 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033JJ00 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ36 ,  5F033KK11 ,  5F033MM00 ,  5F033MM05 ,  5F033NN03 ,  5F033NN14 ,  5F033NN34 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR30
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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