特許
J-GLOBAL ID：200903029296030477
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西村 竜平
, 佐藤 明子
, 齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-148457
公開番号（公開出願番号）：特開2009-012168
出願日： 2008年06月05日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：
【課題】簡単な構造でありながら、高分解能且つ高精度なステージ装置1を提供することである。【解決手段】ベース2と、前記ベース2上に第1方向に設けられた第1リニアガイド3と、前記第1リニアガイド3上に設けられ、第1方向に移動可能なくさび部材4と、前記ベース2に設けられ、前記くさび部材4を進退移動させる駆動機構5と、前記くさび部材4の傾斜面4aに傾斜方向に沿って設けられた第2リニアガイド6と、前記ベース2上に前記第1方向とは異なる第2方向に設けられた第3リニアガイド7と、前記第3リニアガイド7により第2方向に移動可能な移動ステージ8と、を備え、前記移動ステージ8が、前記移動ステージ8を第3リニアガイド7に設けたときの第2リニアガイド6が設けられる設置面を第2リニアガイド6に沿った角度に調節する調節機構10を有していることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベースと、
前記ベース上に第1方向に設けられた第1リニアガイドと、
前記第1リニアガイドに設けられ、第1方向に移動可能なくさび部材と、
前記くさび部材を進退移動させる駆動機構と、
前記くさび部材の傾斜面に傾斜方向に沿って設けられた第2リニアガイドと、
前記ベース上に前記第1方向とは異なる第2方向に設けられた第3リニアガイドと、
前記第2リニアガイド及び前記第3リニアガイドに設けられ、第2方向に移動可能な移動ステージと、を備え、
前記くさび部材又は前記移動ステージの少なくとも一方が、
前記くさび部材の前記第2リニアガイドが設けられる設置面を、前記第2リニアガイドの前記くさび部材が設けられる設置面に沿った角度に調節し、又は前記移動ステージの前記第2リニアガイドが設けられる設置面を、前記第2リニアガイドの前記移動ステージが設けられる設置面に沿った角度に調節する調節機構を有しているステージ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C048BC02
, 3C048CC04
, 3C048DD02
, 3C048DD28
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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