特許

J-GLOBAL ID：200903029325128392

研磨方法及び研磨装置

発明者： 前羽 良保 ,  小林 茂樹 ,  森岡 善隆
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-338909
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158342
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 研磨スラリーを有効且つ常に良好な状態で利用すること。【解決手段】 循環する研磨スラリーのうち寿命を越える研磨スラリーの残存割合が約1%以下になるように、研磨スラリーの排出及び新規スラリーの供給を制御する。

請求項（抜粋）：

所定の寿命を有する研磨スラリーを使用して被加工物を研磨し、当該研磨に使用した研磨スラリーの一部を廃棄し、残りを回収して再生使用する研磨方法において、循環する前記研磨スラリーのうち前記寿命を越える研磨スラリーの残存割合が約1%以下になるように、前記研磨スラリーの排出及び新規スラリーの供給を制御することを特徴とする研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 57/02 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 57/02 ,  H01L 21/304 622 E

Fターム (2件)：

3C047AA18 ,  3C047GG14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-315576
  
• 特開平4-315576
  
• 化学機械研磨装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-184922   出願人：インテグレーテッドプロセスイクイップメントコーポレーション
• 研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-307976   出願人：住友金属工業株式会社