基板容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-017693
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122382
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】メンテナンスフリーで、コンパクトで、省電力で、到達湿度の制御が可能な除湿ユニットを搭載した、クリーンボックス、自動搬送用基板容器、基板収納棚等の基板の搬送・保管容器を提供する。【解決手段】基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体1と、該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流路を形成するファンモータ6と、前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ7およびガス状不純物捕捉フィルタ8と、前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧供給手段とからなる除湿手段10とを備えた。

請求項（抜粋）：

基板を収納するための開口部を有すると共に、該開口部を密閉可能に覆う蓋体を備えた容器本体と、該容器本体内において前記基板に接触する気流の循環流路を形成するファンモータと、前記基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記循環流の流路に配置された固体高分子電解質膜と、該電解質膜が前記気流中の水分を分解して除湿を行うための電圧供給手段とからなる除湿手段とを備えたことを特徴とする基板容器。

IPC (7件)：

F26B 21/04 , B01D 53/26 , B65D 81/26 , B65D 85/86 , F26B 5/16 , H01L 21/02 , H01L 21/68

FI (8件)：

F26B 21/04 C , F26B 21/04 B , B01D 53/26 Z , B65D 81/26 Z , F26B 5/16 , H01L 21/02 D , H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (50件)：

3E067AA12 , 3E067AB41 , 3E067AB94 , 3E067AC03 , 3E067BA01A , 3E067EE60 , 3E067FA01 , 3E067GB20 , 3E096AA06 , 3E096BA15 , 3E096CA01 , 3E096DA30 , 3E096FA02 , 3E096FA03 , 3L113AA01 , 3L113AC20 , 3L113AC25 , 3L113AC51 , 3L113AC67 , 3L113AC83 , 3L113BA34 , 3L113CB17 , 3L113CB24 , 3L113CB36 , 3L113CB39 , 3L113DA02 , 3L113DA07 , 3L113DA12 , 3L113DA14 , 3L113DA22 , 4D052AA09 , 4D052EA06 , 4D052FA01 , 4D052GA03 , 4D052GB00 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA09 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031NA02 , 5F031NA03 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031NA16 , 5F031NA18 , 5F031NA20 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (6件)

固体高分子電解型湿度交換モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-319719 出願人：三菱電機株式会社
基板保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136144 出願人：株式会社荏原製作所
熱可塑性樹脂製容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-247837 出願人：日本ゼオン株式会社

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