移送・保管キャリア

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂口博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-006822
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214883
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】超清浄な環境から、あまり清浄でない環境を経て他の超清浄な環境にX線マスク,ウェハなどを移送する移送キャリアを提供する。【解決手段】アクセス・ドア30によって外部から封止されるボックスと、1つ以上のファン220と、少なくとも1つのエア・フィルタ200と、ファンを駆動する再充填可能なバッテリまたは電圧源とを備えている。また、ドアが開くときに正のエア圧を保持するダンパ機構500を備える。ダンパ機構は、また、ドアが閉じるときにボックスの内部でエアを再循環させることを保証する。エア・フィルタは、製品に対向するフレーム上に水平に配置され、連続する滑らかな層流を確保する。

請求項（抜粋）：

アクセス・ドアを有する封止可能なボックスを備え、前記アクセス・ドアが閉じた状態にあるとき、前記アクセス・ドアは封止され、前記ボックスが閉じた状態にあるとき、前記ボックス内に正のエア圧を作り、前記ボックス内にエアを循環させるエア循環手段を備える、ことを特徴とする移送・保管キャリア。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , F24F 7/06

FI (2件)：

H01L 21/68 T , F24F 7/06 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

ウエハ搬送用ボックス
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106790 出願人：川崎製鉄株式会社
特開昭63-028046
特開昭63-150545

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