特許
J-GLOBAL ID:200903029502493799
レーザ加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-035405
公開番号(公開出願番号):特開2007-210025
出願日: 2006年02月13日
公開日(公表日): 2007年08月23日
要約:
【課題】 ステージからの反射光によって加工対象物が損傷を受けることを防止し、かつ十分な機械的強度を確保することができるステージを有するレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 ステージが、加工対象物と線で接触して加工対象物を保持する。レーザ光源が、ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
加工対象物と線で接触して該加工対象物を保持するステージと、
前記ステージに保持された加工対象物に、レーザビームを入射させるレーザ光源と
を有するレーザ加工装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (2件):
引用特許: