特許
J-GLOBAL ID：200903029565260140
窒化物結晶の製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-066543
公開番号（公開出願番号）：特開2005-289797
出願日： 2005年03月10日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 工業的に適用可能な比較的低圧の条件下で、不純物の少ない高品質の窒化物、特に、窒化ガリウムの結晶を得る方法を提供する。【解決手段】 少なくとも内側の表面がPtに代表される貴金属製である反応容器に原料とアンモニア溶媒を充填して前記反応容器を密閉した後、さらに前記反応容器を前記反応容器とは別の耐圧性容器内に挿入し、前記反応容器と前記耐圧性容器との間の空隙に第二溶媒を充填して前記耐圧性容器を密閉した後、昇温して窒化物結晶を製造する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも内側の表面が貴金属製の反応容器に原料とアンモニア溶媒を充填して前記反応容器を密閉した後、さらに前記反応容器を耐圧性容器内に挿入し、前記反応容器と前記耐圧性容器との間の空隙に第二溶媒を充填して前記耐圧性容器を密閉した後、昇温することにより窒化物結晶を得ることを特徴とする窒化物結晶の製造方法。
IPC (5件)：
C30B29/38
, B01J3/00
, B01J3/06
, C01B21/06
, C30B7/10
C30B29/38 D
, B01J3/00 A
, B01J3/06 T
, B01J3/06 X
, C01B21/06 M
, C30B7/10
4G077AA02
, 4G077BE13
, 4G077BE15
, 4G077CB04
, 4G077EA02
, 4G077EA04
, 4G077EG02
, 4G077EG25
, 4G077EJ09
, 4G077HA12
, 4G077KA03
, 4G077KA09
, 4G077KA11
, 4G077KA12
