特許
J-GLOBAL ID:200903031996587612
結晶窒化ガリウム並びに結晶窒化ガリウムの形成法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松本 研一
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-527911
公開番号(公開出願番号):特表2003-511326
出願日: 2000年09月28日
公開日(公表日): 2003年03月25日
要約:
【要約】窒化ガリウム成長法によって結晶窒化ガリウムを形成する。本方法は、窒化ガリウム源(15)を供給する段階、鉱化剤(17)を供給する段階、溶媒(17)を供給する段階、カプセル(10)を設ける段階、窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒をカプセル内に配置する段階、カプセルを密封する段階、カプセルを圧力セル(1)内に配置する段階、並びに圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を1以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温(HPHT)条件に付す段階を含む。本発明はまた、本発明の方法で形成される窒化ガリウム結晶をも提供する。
請求項(抜粋):
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 窒化ガリウム源(15)を供給する段階、 鉱化剤(17)を供給する段階、 溶媒(17)を供給する段階、 カプセル(10)を設ける段階、 窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒をカプセル内に配置する段階、 カプセルを密封する段階、 カプセルを圧力セル(1)内に配置する段階、並びに 圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を1以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温(HPHT)条件に付す段階を含んでなる方法。
IPC (14件):
C30B 29/38
, B01D 9/02 601
, B01D 9/02 602
, B01D 9/02
, B01D 9/02 603
, B01D 9/02 604
, B01D 9/02 611
, B01D 9/02 612
, B01D 9/02 617
, B01D 9/02 622
, B01D 9/02 625
, B01J 3/00
, B01J 3/06
, C30B 7/10
FI (18件):
C30B 29/38 D
, B01D 9/02 601 A
, B01D 9/02 602 B
, B01D 9/02 602 D
, B01D 9/02 603 H
, B01D 9/02 604
, B01D 9/02 611 A
, B01D 9/02 612
, B01D 9/02 617
, B01D 9/02 622
, B01D 9/02 625 A
, B01D 9/02 625 B
, B01J 3/00 A
, B01J 3/06 C
, B01J 3/06 M
, B01J 3/06 N
, B01J 3/06 P
, C30B 7/10
Fターム (7件):
4G077AA01
, 4G077BE15
, 4G077CB04
, 4G077EA02
, 4G077EA03
, 4G077HA02
, 4G077KA03
引用特許:
審査官引用 (4件)
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酸化亜鉛単結晶の育成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-286894
出願人:日本碍子株式会社
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特開平2-043939
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特開昭62-171998
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多層結晶構造及びその製造方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-506361
出願人:ツェントルムバダニヴィソコチシニエニオヴィフポルスキエイアカデミイナウク
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引用文献:
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