特許
J-GLOBAL ID：200903029588743393
微細金属球の搭載治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354372
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186310
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 金属球を通過するマスクを薄くできる金属球の搭載治具を提供する。【解決手段】 金属球16を収納した金属球トレイ10がバネ15で下から押圧されながらフレーム6の中に収納される。吸着のための吸着ヘッド1を金属球トレイ10に結合するときに金属球トレイ10が少し沈む位置で停止するようヘッドストッパ7がフレーム6に設けられる。金属球トレイ10の水平方向のクリアランス30がフレーム6との間に形成され、位置決めピン14による結合時に寸法精度を吸収する。
請求項（抜粋）：
基板の電極パッドに金属球を搭載するための搭載治具において、前記金属球を内部に収容し上面が開口した金属球トレイと、前記金属球トレイの前記開口側に配置され前記金属球1つ分が通過できる複数の開口部が形成された第1のマスクと、前記金属球トレイを水平方向のクリアランスを設けて収容したフレームと、前記フレームの底面から前記金属球トレイを前記第1のマスク側に押し上げる弾性手段と、前記第1のマスクに対向するように配置され、前記各開口部に対応する位置に前記金属球の直径より小さい内径の吸着孔を設けた第2のマスクを有する吸着ヘッドと、前記第1のマスクと前記第2のマスクとが互いに重なるように合わせたときに前記金属球トレイが前記弾性手段による弾性力に抗して前記フレーム内に沈むような位置で前記フレームと前記吸着ヘッドとの間隔を規制する間隔規制部材と、を含む微細金属球の搭載治具。
IPC (2件)：
H01L 21/60
, H01L 21/60 311
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/60 311 S
, H01L 21/92 604 Z
