特許
J-GLOBAL ID：200903029625704328
コンタクトプローブ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063346
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254995
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】【課題】 削りかすが先端部に付着する量を低減し、被測定面に形成するキズを軽減できるコンタクトプローブを提供する。【解決手段】 コンタクトプローブは、被測定面に接触させるための先端部1と、支持および電気的接続を行なうための支持部3と、上記先端部を上記支持部に接続するスプリング部2とを備える。先端部1は、被測定物に面接触するために設けられた平坦面10と、上記平坦面を挟んで設けられた第1傾斜面11および第2傾斜面12とを有する。第1傾斜面11は、コンタクトプローブを被測定面に押し当てたときにスプリング部に生じる弾性変形によって平坦面10が被測定面に当接したまま変位する側の斜面であって、角部13の曲率半径より、角部14の曲率半径の方が大きくなっている。
請求項（抜粋）：
被測定面に接触させるための先端部と、支持および電気的接続を行なうための支持部と、前記先端部を前記支持部に接続するスプリング部とを備え、前記先端部は、そのさらに先端において前記被測定物に面接触するために設けられた当接平坦面と、前記当接平坦面を挟んで設けられた傾斜面である第1傾斜面および第2傾斜面とを有し、前記先端部、前記支持部および前記スプリング部は、前記支持部を固定して前記当接平坦面を前記被測定面に押し当てたときに前記スプリング部に生じる弾性変形によって前記当接平坦面が前記被測定面に当接したまま前記当接平坦面から見た前記第1傾斜面の側に変位するように構成されており、前記第1傾斜面と前記当接平坦面とのなす角度は、90°以上170°以下であり、前記第2傾斜面と前記当接平坦面とのなす角度は、90°以上170°以下であり、前記第1傾斜面と前記当接平坦面とに挟まれた角部は、第1の曲率半径で丸みがつけられており、前記第2傾斜面と前記当接平坦面とに挟まれた角部は、前記第1の曲率半径より大きな第2の曲率半径で丸みがつけられている、コンタクトプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/067 C
, G01R 1/067 A
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AA10
, 2G003AB01
, 2G003AG03
, 2G003AG04
, 2G003AG12
, 2G011AA02
, 2G011AB01
, 2G011AC14
, 2G011AC31
, 2G011AE03
, 2G011AE11
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD03
