圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッド

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040053
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238921
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】優れた圧電特性を示す圧電体素子を結晶構造から明らかにする。【解決手段】この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして結晶が、圧電体層のペロブスカイト結晶構造は正方晶系であること、(001)面方位と(111)面方位とが混在していること、膜厚に対する(001)面方位の配向割合の比が膜厚に対する(111)面方位の配向割合の比より大きく設定されていること等の条件を満たしている。

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と前記圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備えた圧電体素子において、前記圧電体層の前記ペロブスカイト結晶構造は正方晶系であって、(001)面方位と(111)面方位とが混在しており、全面方位に対する前記(111)面方位の割合が前記(001)面方位の割合より大きく設定されていることを特徴とする圧電体素子。

IPC (4件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/22

FI (3件)：

H01L 41/08 C , B41J 3/04 103 A , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-005874
圧電体薄膜素子及びその製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-250863 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平3-108759

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