特許
J-GLOBAL ID：200903029671675472
音叉型角速度検出センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095120
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280868
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 充分な大きさの検出信号を得ることができるようにする。センサとしての立ち上がりを速くする。小型化を容易とする。【解決手段】 励振電極5(5-1〜5-3)と検出電極(7-1〜7-4)とを脚部4-1の滑動端S1付近を出発点として同一距離内(L1=0.4L〜0.6L)に並置して形成する。励振電極6(6-1〜6-3)と検出電極(8-1〜8-4)とを脚部4-2の滑動端S2付近を出発点として同一距離内(L2=0.4L〜0.6L)に並置して形成する。励振電極5と検出電極7との間にグランド電極9を、励振電極6と検出電極8との間にグランド電極10を形成する。脚部4-1,4-2の先端部にバランス電極11,12を形成し、グランド電極9,10をバランス電極11,12に接続する。
請求項（抜粋）：
音叉型振動子と、この音叉型振動子の脚部の少なくとも一方に形成された励振電極および検出電極とを備え、前記励振電極に交流電圧を印加することによって前記音叉型振動子を振動させながら、前記検出電極に生ずる電圧信号に基づいて前記脚部の伸縮方向の回りに作用する回転角速度を検出する音叉型角速度検出センサにおいて、前記励振電極と前記検出電極とが前記脚部の滑動端付近を出発点として同一距離内に並置して形成されていることを特徴とする音叉型角速度検出センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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