単結晶窒化ケイ素ナノシートとその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 桜井周矩 , 神田藤博 , 田中英夫 , 細川伸哉 , 深澤憲広 , 平山晃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-352353
公開番号（公開出願番号）：特開2006-160548
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】ナノサイズの二次元構造を有する単結晶窒化ケイ素ナノシートと、その単結晶窒化ケイ素ナノシートを製造するための方法であって、簡便に生産が可能な方法を提供することを課題とする。【解決手段】単結晶窒化ケイ素ナノシートを製造するための方法であって、原料としてケイ素粉末を用い、ケイ素の窒化反応が進行する温度以上で、ケイ素が溶融しない温度以下の温度で反応させることを特徴とする製造方法。並びに、大きさが1μm×1μm以上で、厚みが20nm以下である単結晶ナノシート窒化ケイ素ナノシート。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

単結晶窒化ケイ素ナノシートを製造するための方法であって、出発原料としてケイ素粉末を用い、ケイ素粉末の窒化反応が進行する温度以上で、ケイ素粉末が溶融しない温度以下の温度で窒素ガスと反応させることを特徴とする製造方法。

IPC (1件)：

C01B 21/068

FI (1件)：

C01B21/068 D

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-151603
特開昭61-266305
特開平1-201012

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