特許
J-GLOBAL ID:200903029677631337

低電圧マイクロスイッチ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-129984
公開番号(公開出願番号):特開2004-327441
出願日: 2004年04月26日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
【課題】低電圧で駆動するだけでなく、そのオン/オフ制御を正確に行い、且つ、処理しやすく、回路部分との集積を容易にした低電圧マイクロスイッチを提供する。【解決手段】内部の所定領域にエッチングにより形成された駆動空間101が備えられた基板100と、基板100の一部分から駆動空間101側に片持ち梁状に突出させて形成され、圧電物質及びバイアス電極を備えた駆動ユニット110と、基板100と所定間隔を有するようにその基板100から延長形成され、その一部が断線された導電性信号線120と、駆動ユニット110に連結されて駆動空間101上に位置し、駆動ユニット110の駆動によって動く支持ユニット130と、支持ユニット130に形成され、その支持ユニット130の動きによって導電性信号線120の断線部分をオン/オフさせるスイッチング部140と、基板100に形成される少なくとも1つ以上の接地部150と、を含んで低電圧マイクロスイッチを構成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
内部の所定領域にエッチングにより形成された駆動空間が備えられた基板と、 前記基板の一部分から駆動空間側に片持ち梁状に突出させて形成され、圧電物質及びバイアス電極を備えた駆動ユニットと、 前記基板と所定間隔を有するように該基板から部分的に離して形成され、その一部が断線された導電性信号線と、 前記駆動ユニットに連結されて前記駆動空間上に位置し、前記駆動ユニットの駆動によって動く支持ユニットと、 前記支持ユニットに形成され、該支持ユニットの動きによって前記導電性信号線の断線部分をオン/オフさせるスイッチング部と、 前記基板に形成される少なくとも1つ以上の接地部と を含むことを特徴とする低電圧マイクロスイッチ。
IPC (2件):
H01H57/00 ,  B81B3/00
FI (2件):
H01H57/00 B ,  B81B3/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
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引用文献:
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