特許

J-GLOBAL ID：200903029762446042

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者： 真壁 裕明 ,  平野 孝 ,  番場 敏夫
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-189161
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005367
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 高感度かつ低膜減りであるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 ポリベンゾオキサゾール前駆体100重量部、一般式(2)で示される骨格を有するフェノール化合物と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸とのエステル化合物である感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(3)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、一般式(2)で示される骨格を有するフェノール化合物と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸とのエステル化合物である感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(3)で示されるフェノール化合物(C)1〜30重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/022 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/022 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (16件)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-060800   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-287674   出願人：クラリアントジャパン株式会社, 旭化成株式会社
• ポジ型フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-069710   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型ホトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-191431   出願人：東京応化工業株式会社