感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鳴井義夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287674
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109149
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】高感度で高残膜率のパターンを得られ、同時に微細パターンの解像性及びパターン形状に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A) 特定一般式の繰返し単位を含むポリアミド(100重量部) 、および(B) 特定一般式で表されるポリヒドロキシ化合物の1,2-ナフトキノンジアジド-4- スルフォン酸エステルおよび/ または1,2-ナフトキノンジアジド-5- スルフォン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤 (1 〜50重量部) よりなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A) 下記一般式(1) の繰返し単位を含むポリアミド(100重量部) 、【化1】式中X1:【化2】A1:単結合、-O -、-C (CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -X2:【化3】A2:単結合、-O -、-C (CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -X3:2価の有機基a,b はモル分率を表し、a+b=100 モル%a =60.0 〜100 モル%b =0〜40.0モル%および(B) 下記一般式(2) で表されるポリヒドロキシ化合物の1,2-ナフトキノンジアジド-4- スルフォン酸エステルおよび/ または1,2-ナフトキノンジアジド-5- スルフォン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤 (1 〜50重量部) よりなる感光性樹脂組成物。【化4】式中k,l,m,n :1 または2 である。R1〜R10 :水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリル基、またはアシル基であり、それぞれ同一または相異なっていてもよい。Y1〜Y3:単結合、-O -、-S -、-SO-、-SO2 -、-CO-、-CO2 -、シクロペンチリデン、シクロヘキシリデン、フェニレン、【化5】(R11及びR12 :水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリル基、または置換アリル基であり、それぞれ同一または相異なっていてもよい。) 、【化6】(R13〜R16 :水素原子、アルキル基であり、それぞれ同一または相異なっていてもよい。n=1 〜5 の整数である。) 、または【化7】(R17〜R20 :水素原子、アルキル基であり、それぞれ同一または相異なっていてもよい。) からなる連結基である。

IPC (5件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/22 , C08L 79/04 , G03F 7/022 601 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/22 , C08L 79/04 B , G03F 7/022 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (84件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB24 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 4J002CL031 , 4J002CL071 , 4J002EV246 , 4J002FD156 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J002GQ01 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PC015 , 4J043PC016 , 4J043PC115 , 4J043PC116 , 4J043QB15 , 4J043QB33 , 4J043QB34 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA43 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA12 , 4J043TA26 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA041 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA171 , 4J043UA261 , 4J043UA361 , 4J043UA531 , 4J043UA761 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB141 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB321 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA042 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA071 , 4J043VA081 , 4J043VA082 , 4J043VA092 , 4J043YA06 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (9件)

感光性樹脂組成物の現像方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-274991 出願人：旭化成工業株式会社
感光性樹脂組成物のパターン加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-172478 出願人：住友ベークライト株式会社
アルカリ性水溶液及び感光性樹脂組成物のパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-335785 出願人：住友ベークライト株式会社

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