磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132861
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304050
出願日： 1995年05月02日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】受光系のノイズを減少して、磁気膜の欠陥の散乱光のS/Nと、欠陥パルスの波高値の計測精度の両者を向上する。【構成】回転する磁気ディスク1の磁気膜に対して、その半径方向に適当な長さを有するレーザ光帯LB を投射して走査する投光系61と、投光系61の入射角θT に等しい正反射角θR の方向に設けられ、磁気膜の反射光LR と欠陥の散乱光LR'とを集光する対物レンズ621 、およびレーザ光帯LB に対応した2n個のAPDがリニアに配列され、反射光LR,散乱光LR'を受光するAPD・ARRY622 を有する受光系62とにより検査光学系6を構成し、2n個のうちの適当な2個づつを組合せ、各組合せの2個のAPDの出力信号の差分をそれぞれ算出して、反射光LR によるノイズを消去し、散乱光LR'に対する欠陥パルスpを出力する、n個の差分回路よりなる差分演算部7を設ける。

請求項（抜粋）：

磁気ディスクを装着して回転する回転機構と、該回転する磁気ディスクの磁気膜に対して、該磁気ディスクの半径方向に適当な長さを有するレーザ光帯を投射して走査する投光系と、該投光系の入射角に等しい正反射角の方向に設けられ、該レーザ光帯の該磁気膜による反射光と、該磁気膜に存在する欠陥による散乱光とをそれぞれ集光する対物レンズ、および、該対物レンズの結像位置に設けられ、該レーザ光帯に対応した複数2n個のアバランシェ・ホトダイオードがリニアに配列され、該集光された反射光と散乱光とを受光するホトダイオードアレイよりなる受光系とを具備し、該2n個のアバランシェ・ホトダイオードのうちの適当な2個づつを組合せ、該各組合せの2個のアバランシェ・ホトダイオードの出力信号の差分をそれぞれ算出して、前記磁気膜の反射光によるノイズを消去し、前記欠陥の散乱光に対する欠陥パルスを出力する、n個の差分回路よりなる差分演算部を設けて構成されたことを特徴とする、磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88 , G11B 5/84

FI (3件)：

G01B 11/30 D , G01N 21/88 G , G11B 5/84 C

引用特許：

出願人引用 (6件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-025671 出願人：キヤノン株式会社
特開昭63-295945
特開昭62-064935

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