マスク整合機構付露光装置およびワークの整合、露光、ならびに搬送方法。

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178863
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043950
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】作業スペースを取らず、的確にワークとマスクフィルムの整合ができ、整合ステージで上下のフレームの開閉作動をすることなく、かつ、ワークおよびマスクフィルムの位置ズレが無く、光学系の干渉膜を早期劣化させる原因を減少でき、そして、装置を小型化しても露光ステージのワークに垂直光を照射できることを目的とする。【構成】整合ステージAと、露光ステージBと、前記整合ステージおよび露光ステージに設けた搬送機構10,11と、光源装置9と、ワークWの上方側から撮像する撮像手段6を備える露光装置であって、マスクフィルムMを上側から保持する保持機構5の構成を、マスクフィルムの吸着部5aと、この吸着部を上下動自在に支持する支持アーム17と、この支持アームを上下動させる第1駆動装置14と、この第1駆動装置を上下動させる第2駆動装置15と、前記吸着部の所定移動位置で吸着部を固定支持するストッパ支持部20とした。

請求項（抜粋）：

ワークとマスクフィルムの整合ステージと、整合済ワークを露光する露光ステージと、前記整合ステージおよび露光ステージ間でワークを搬送する搬送機構と、露光ステージに到来したワークを光学系を介して光照射する光源装置と、前記整合ステージにワークおよびマスクフィルムを上方から撮像する撮像手段を備える露光装置であって、マスクフィルムを上側から保持する保持機構を前記整合ステージに設け、前記保持機構は、マスクフィルムの吸着部と、この吸着部を上下動自在に支持する支持アームと、この支持アームを上下動させる第1駆動装置と、この第1駆動装置を上下動させる第2駆動装置と、前記吸着部の所定移動位置で吸着部を固定支持するストッパ支持部とを備えたことを特徴とするマスク整合機構付露光装置。

IPC (4件)：

G03B 27/18 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 503 D , H01L 21/30 508 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

密着体と密着装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-315925 出願人：株式会社小野測器
特開昭62-145248
特開昭63-021649

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審査官引用 (5件)

密着体と密着装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-315925 出願人：株式会社小野測器
特開昭62-145248
特開昭63-021649

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