特許
J-GLOBAL ID：200903029856247086
エキシマUVランプ装置用大型合成石英ガラス板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
武田 正彦
, 滝口 昌司
, 中里 浩一
, 川崎 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-078579
公開番号（公開出願番号）：特開2005-298323
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】エキシマUVランプ装置用窓材として用いたとき、全面にわたって光の取り出し効率が良く、均等であるエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板を提供する。 【解決手段】 本発明のエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板は、高純度の珪素化合物を原料とし、火炎加水分解法によって合成される合成石英ガラスからなり、波長150〜250nmの真空紫外光を放出するエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板において、該合成石英ガラス板が2枚以上の板を互いの端面を突き合わせて接合して成り、接合後の外周の全長が2700mm以上、厚さが3〜10mmで、厚さの変動幅が1mm以下、接合による板の曲がりが3mm以下、接合部での複屈折が80nm/cm以下で、接合部を含む板全体で長径1mm未満の独立気泡が100mm四方に10個以下で、複数個の泡が連なり全長として10mm以上となる泡が無いことを特徴とする。 【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
高純度の珪素化合物を原料とし、火炎加水分解法によって合成される合成石英ガラスからなり、波長150〜250nmの真空紫外光を放出するエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板において、該合成石英ガラス板が2枚以上の板を互いの端面を突き合わせて接合して成り、接合後の外周の全長が2700mm以上、厚さが3〜10mmで、厚さの変動幅が1mm以下、接合部での複屈折が80nm/cm以下で、接合部を含む板全体で長径1mm以上の独立気泡が無いことを特徴とするエキシマUVランプ装置用合成石英ガラス板。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C03B23/203
, C03B20/00 F
, C03B20/00 G
, C03B20/00 K
