特許
J-GLOBAL ID:200903029906204944
積層型電子部品およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
前田 均
, 西出 眞吾
, 大倉 宏一郎
, 佐藤 美樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-081417
公開番号(公開出願番号):特開2007-258476
出願日: 2006年03月23日
公開日(公表日): 2007年10月04日
要約:
【課題】還元性雰囲気中での焼成が可能であり、DCバイアス特性が良好で、電歪量が低減されており、容量温度特性がEIA規格のX6S特性を満足でき、しかも高い比誘電率を有する積層型電子部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】主成分として、BaTiO3 、SrTiO3 およびCaTiO3 を含有し、かつ、前記BaTiO3 、SrTiO3 およびCaTiO3 が、それぞれ互いに、実質的に固溶せず、コンポジット構造を形成している誘電体磁器組成物からなる誘電体層と、内部電極層と、が交互に積層された構成を有する積層型電子部品を製造する方法において、焼成後に内部電極層となる電極ペースト膜を、導電体粉末と、BaTiO3 粉末、SrTiO3 粉末およびCaTiO3 粉末を含有する共材と、を含み、かつ、BaTiO3 粉末の含有量を特定の範囲とした電極ペーストを用いることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
誘電体層および内部電極層が交互に積層された構成を有する積層型電子部品の製造方法であって、
焼成後に誘電体層となるグリーンシートを形成する工程と、
電極ペーストを用いて、焼成後に内部電極層となる電極ペースト膜を形成する工程と、
前記グリーンシートおよび電極ペースト膜を交互に積層し、グリーンチップを得る工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程と、を有し、
焼成後の前記誘電体層が、主成分として、BaTiO3 、SrTiO3 およびCaTiO3 を含有し、かつ、前記BaTiO3 、SrTiO3 およびCaTiO3 が、それぞれ互いに、実質的に固溶せず、コンポジット構造を形成している誘電体磁器組成物からなり、
前記電極ペースト膜を形成するための前記電極ペーストが、導電体粒子と、BaTiO3 粉末、SrTiO3 粉末およびCaTiO3 粉末を含有する共材と、を含み、かつ、
前記電極ペースト中における、前記BaTiO3 粉末、SrTiO3 粉末およびCaTiO3 粉末の含有割合を、式{(Baα ,Srβ ,Caγ )O}n TiO2 で示した場合に、前記式中の記号α、β、γおよびnが、
0.1≦α≦0.7、
0.1≦β≦0.7、
0.1≦γ≦0.7、
α+β+γ=1、
0.8≦n≦1.3、
の関係にあり、
前記誘電体磁器組成物に含有される前記BaTiO3 、SrTiO3 およびCaTiO3 の組成モル比を、組成式{(Bax Sry Caz)O}m TiO2 (ただし、前記式中、x+y+z=1)で示した場合に、
前記電極ペースト中における、前記BaTiO3 粉末の比率であるαと、前記誘電体磁器組成物中における、前記BaTiO3 の比率であるxと、の関係が、α>xであることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
IPC (5件):
H01G 4/12
, H01G 4/30
, C04B 35/00
, C04B 35/622
, C04B 35/46
FI (9件):
H01G4/12 361
, H01G4/12 358
, H01G4/12 364
, H01G4/30 301C
, H01G4/30 311D
, C04B35/00 J
, C04B35/00 G
, C04B35/46 D
, C04B35/46 E
Fターム (31件):
4G030AA08
, 4G030AA09
, 4G030AA10
, 4G030AA16
, 4G030BA09
, 4G030CA08
, 4G031AA04
, 4G031AA05
, 4G031AA06
, 4G031AA11
, 4G031BA09
, 4G031CA08
, 5E001AB03
, 5E001AC09
, 5E001AE01
, 5E001AE02
, 5E001AE03
, 5E001AH01
, 5E001AJ01
, 5E001AJ02
, 5E082AB03
, 5E082EE04
, 5E082EE23
, 5E082EE27
, 5E082FF05
, 5E082FF14
, 5E082FG26
, 5E082FG46
, 5E082LL01
, 5E082PP03
, 5E082PP09
引用特許: