投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288497
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148412
出願日： 1994年11月24日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】外的機構を用いずに走査露光時のボディ振動を減衰する。【構成】レチクルステージ(8)又はウェハステージ(5)のいずれか一方の加速から所定タイミングずらして、マスクステージ(8)又は基板ステージ(5)のいずれか他方の加速を行うように構成することにより、先行して走査されるステージの加速により励起されたボディBDの振動を、何ら外的機構を用いずに、後行して走査されるステージの加速により励起される外力により相殺し、減衰することができる。加速をずらすタイミングとしては、ボディBDの振動を減衰する任意のタイミングとすることができるが、例えばボディBDの回転加速度の符号が反転する時点を計算又はセンサ出力により知ることにより、設定することができる。

請求項（抜粋）：

所定形状の照明領域内を照明する照明光学系と、マスクを保持して前記照明領域に対して前記マスクを相対的に走査するマスクステージと、前記マスクステージが載置されたマスクベースと、前記照明領域内の前記マスク上のパターンの像を感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板を保持して前記照明領域の共役像に対して前記感光基板を相対的に走査する基板ステージと、前記基板ステージが載置された基板ベースとを有し、前記照明領域に対して相対的に前記マスク及び前記感光基板を同期して走査することにより、前記マスク上のパターンの像を前記感光基板上に投影する投影露光装置において、前記マスクステージ又は前記基板ステージのいずれか一方の加速から所定タイミングずらして、前記マスクステージ又は前記基板ステージのいずれか他方の加速を行うように構成したことを特徴とする、投影露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 503 F , H01L 21/30 516 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-125048
特開平2-007412
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-314838 出願人：株式会社ニコン

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