特許
J-GLOBAL ID:200903030078236479

無接触温度モニタ及び制御方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  宍戸 嘉一 ,  村社 厚夫 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-500468
公開番号(公開出願番号):特表2006-517028
出願日: 2004年01月11日
公開日(公表日): 2006年07月13日
要約:
サンプル(21)の温度を測定する方法であって、プロービング光ビーム(12,22,32)をサンプルに当て、プロービング光ビームの少なくとも2つの部分ビームが、サンプル中の少なくとも2つの互いに異なる深さレベルから後方散乱し又は反射することによりサンプル内部の互いに異なる長さの経路を通り、後方散乱又は反射した部分ビームを分析ユニットに戻し、基準光ビームとして一方のビームを用いる干渉デバイスにより干渉モデルを作成し、作成した干渉モデルを評価ユニットで評価し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を光路長に対して求めてサンプルの温度シフト及び温度を信号強度の温度シフトから求めることを特徴とする。
請求項(抜粋):
サンプル(11,21,38)の温度を測定する方法であって、 プロービング光ビーム(12,22,32)をサンプルに当てる段階を有し、プロービング光ビームの少なくとも2つの部分ビームは、サンプル中の長さの互いに異なる経路長さを通り、部分ビームをサンプル中の少なくとも2つの互いに異なる深さから反射させ又は後方散乱させ、 反射し又は後方散乱した部分ビームを分析ユニット内へ戻す段階を有し、 干渉パターンを干渉装置により分析ユニット中に生じさせる段階を有し、干渉装置は、一方のビームを基準光ビームとして用い、 評価ユニット中に生じた干渉パターンを評価する段階を有し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を評価ユニットにより光路長に対して求めて温度のずれ及びサンプル温度を信号強度の温度ずれから求めることを特徴とする方法。
IPC (4件):
G01K 11/12 ,  G01J 5/00 ,  G01N 21/45 ,  A61B 3/10
FI (4件):
G01K11/12 H ,  G01J5/00 101Z ,  G01N21/45 A ,  A61B3/10 R
Fターム (14件):
2F056VF09 ,  2F056VF13 ,  2F056VF15 ,  2F056VF16 ,  2F056VF17 ,  2G059AA03 ,  2G059BB04 ,  2G059BB12 ,  2G059EE04 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ07 ,  2G066AA20 ,  2G066AC13
引用特許:
審査官引用 (6件)
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