特許

J-GLOBAL ID：200903030107161823

粒子組成分析装置

発明者： 小西 郁夫
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192458
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037974
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 発生した粒子を直接に組成分析するインライン分析を行うことができる粒子組成分析装置を提供する。【解決手段】 チャンバー4内での粒子の組成分析を行うために、粒子発生源2と連通したチャンバー4と、チャンバー内の粒子を検出する検出手段(光検出器16’)と、検出手段で検出した検出粒子にプローブビームを照射するプローブ(励起用パルスレーザー光源14’)と、プローブビームの照射により放出される信号粒子を検出する組成検出手段(質量分析装置17’)とを備えた構成とし、検出粒子から得られる信号粒子を組成分析することによって、粒子発生源の粒子の組成分析を行う。これによって、組成分析機構を備えたチャンバーを粒子発生源に設け、このチャンバー内の粒子を組成分析する構成とし、粒子のインライン分析を行う。

請求項（抜粋）：

粒子発生源と連通したチャンバーと、チャンバー内の粒子を検出する検出手段と、前記検出粒子にプローブビームを照射するプローブと、前記プローブビームの照射により放出される信号粒子を検出する組成検出手段とを備え、検出粒子から得られる信号粒子を組成分析することによって、粒子発生源の粒子の組成分析を行うことを特徴とする粒子組成分析装置。

IPC (7件)：

G01N 27/62 ,  G01J 3/44 ,  G01N 15/10 ,  G01N 15/14 ,  G01N 21/27 ,  G01N 27/64 ,  H01J 49/40

FI (7件)：

G01N 27/62 K ,  G01J 3/44 ,  G01N 15/10 A ,  G01N 15/14 P ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 27/64 B ,  H01J 49/40

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウェーハ表面に付着した有機化合物の評価方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-157932   出願人：三菱マテリアル株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社
• 質量スペクトル測定用手段を含む装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-225489   出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
• セルソータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-095028   出願人：日本分光株式会社
• 特開昭63-094156